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德國(guó)MechOnics壓電式納米定位臺(tái)
德國(guó)MechOnics壓電式納米定位臺(tái)的結(jié)構(gòu)通常包括壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸等多自由度的精密運(yùn)動(dòng)。MechOnics壓電式納米定位臺(tái)這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得壓電納米定位臺(tái)具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器后，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度。
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