丹麥 Sens4 陶瓷隔膜真空傳感器 VCM-1 采用干式氧化鋁陶瓷隔膜，量程 0.1–1333 mbar，響應時間低于 20 ms，316 不銹鋼過程法蘭配 Viton® 密封，4–20 mA 或 0–10 VDC 輸出，可選固態(tài)繼電器設定點。赫爾納供應，德國總部直接采購，近 30 年進口工業(yè)品經(jīng)驗，原裝產(chǎn)品，支持選型，提供一對一解決方案。

制造商簡介

Sens4 A/S 是丹麥真空與壓力測量儀器制造商，2017 年 6 月由 Ole Wenzel 創(chuàng)立，公司位于丹麥 Helleb?k（Nordre Strandvej 119G）。創(chuàng)始人此前在 MKS Instruments 旗下 MKS Denmark 任總經(jīng)理 14 年，并于 1993 年研制出基于 MEMS 的熱導皮拉尼真空計。Sens4 以 MEMS 真空傳感與 SmartPirani™ 數(shù)字信號處理技術為基礎，產(chǎn)品覆蓋真空變送器、精密壓力變送器與溫度變送器，服務半導體、光學鍍膜、平板顯示、材料科學與制藥凍干等行業(yè)。產(chǎn)品標注 Made in Denmark。

產(chǎn)品類型

Sens4 真空與壓力測量產(chǎn)品線主要包括：

· 陶瓷隔膜真空傳感器：VCM-1 系列，0.1–1333 mbar 粗真空段

· MEMS 皮拉尼真空計：VPM-5 系列，SmartPirani™ 技術

· 組合真空計與控制器：VDM-2 系列，多路設定點與數(shù)字接口

· 精密壓力變送器：模擬與數(shù)字輸出

· 溫度變送器：工業(yè)與科研用溫度測量

· 真空控制與配件：S4-Connect™ 編程器、擋板與涂層防護件

丹麥 Sens4 陶瓷隔膜真空傳感器主要型號

以下型號來自 Sens4 VCM-1 產(chǎn)品頁訂貨表：

· VCM-1-10624101：DIN 3852 G1/4″，0–1000 mbar 絕壓，4–20 mA，無繼電器，M12 接頭

· VCM-1-81624101：DN16KF 法蘭，0–1000 Torr 絕壓，4–20 mA，無繼電器，M12 接頭

· VCM-1-81621111：DN16KF 法蘭，0–1000 Torr 絕壓，0–10 VDC，1 路繼電器，M12 接頭

· VCM-1-80221101：DN16KF 法蘭，0–200 mbar 絕壓，0–10 VDC，無繼電器，M12 接頭

· VPM-5-1010101：DN16KF，標準傳感器，RS-232/RS-485，mbar 或 Torr，標準模擬輸出，1 設定點繼電器，9 針 D-sub

· VDM-2-1011432 / VDM-2-1011332：DN16KF，陶瓷傳感器，RS-232，0–10V 1000T 或 100T 輸出，3 設定點繼電器，15 針 HD D-sub

· VDM-2-4011432 / VDM-2-4011332：VCR4F 法蘭，陶瓷傳感器，RS-232，0–10V 1000T 或 100T 輸出，3–4 設定點繼電器

· VDM-2-10114111：MKS 902B 替代型號（P/N 902B-111111），DN16KF，RS-232，0–10VDC 1000T，1 設定點繼電器

產(chǎn)品概述

VCM-1 為陶瓷壓阻式真空變送器，氧化鋁陶瓷隔膜受壓形變后由壓阻橋路轉成電信號，傳感元件為干式結構，無油填充。模塊化緊湊殼體配 316 不銹鋼過程法蘭與 Viton® 內(nèi)部密封，接觸介質(zhì)的部位為 316 不銹鋼、Viton® 與氧化鋁陶瓷（Al2O3）。

產(chǎn)品頁規(guī)格表披露的關鍵口徑：

· 量程：0.1 至 1333 mbar（0.1 至 1000 Torr）

· 測量原理：陶瓷隔膜壓阻式

· 精度：100–1333 mbar 為讀數(shù)的 0.5%；1–99.9 mbar 為滿量程的 0.05%（以 1333 mbar 為基準）

· 遲滯：0.1–10 mbar 為 1%；10–1200 mbar 為 0.1%（ISO 19685:2017）

· 模擬輸出分辨率：16 bit（150 μV）

· 模擬輸出更新率：560 Hz

· 響應時間：< 20 ms（ISO 19685:2017）

· 溫度補償：+10 至 +50 °C

· 設定點繼電器范圍：1 至 1333 mbar，觸點容量 50 V / 100 mA rms?ADC

· 工作與介質(zhì)溫度：-20 至 +50 °C；存儲 -40 至 +80 °C；非工作烘烤 +80 °C

· 最大介質(zhì)壓力：2 bar 絕壓；爆破壓力 4 bar 絕壓

· 安裝方向：任意

· 防護等級：IP40（EN 60529/A2:2013）

· 供電：12–30 VDC，功耗 240 mW（max），帶反接與過壓保護，內(nèi)部 100 mA 可自恢復保險

· 外殼材料：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061；過程法蘭 SS 1.4401 / AISI 316

· 過程漏率：< 1×10?? mbar·l/s

· 認證：CE（EMC 2014/30/EU）、RoHS（EU 2015/863）

標定數(shù)據(jù)存放在內(nèi)部非易失存儲器中，每臺出廠單獨測試、標定并做溫度漂移補償。選型需按實際工況復核防護等級：產(chǎn)品頁正文表述為 IP67 密封殼體，規(guī)格表口徑為 IP40，以規(guī)格表為采購依據(jù)。

優(yōu)勢特點

· 干式陶瓷隔膜：無油填充結構，隔膜破損也不會把油帶入真空腔，凍干與包裝線不必為油污染做額外防護。

· 0.1–1333 mbar 單臺覆蓋：從粗真空到中真空一段量程覆蓋，替代原先分段選型的多臺儀表。

· < 20 ms 響應 + 560 Hz 更新：壓力快速變化與抽氣 / 放氣切換過程能跟上，適合前級保護與過程聯(lián)鎖。

· 耐腐蝕介質(zhì)組合：316 不銹鋼法蘭 + Viton® + 氧化鋁陶瓷接觸面，可選 Parylene 涂層版本應對酸性氣體與溶劑。

· 模擬輸出 + 固態(tài)繼電器：4–20 mA 或 0–10 VDC 直連 PLC，可選設定點繼電器做上下限報警與開閉控制，S4-Connect™ 通過供電線做數(shù)字化整定與標定。

主要應用

· 制藥與食品凍干：凍干機冷阱與干燥腔的粗真空測量與控制，按設定點聯(lián)動真空泵與放氣閥。

· 真空包裝：封口前腔體真空度檢測，保證殘氧量一致，避免包裝鼓包與氧化。

· 分子泵前級保護：前級管路壓力監(jiān)視，超限觸發(fā)聯(lián)鎖，防止分子泵在高背壓下受損。

· 真空熱處理爐：淬火、回火、釬焊過程的真空度測量，可選擋板與涂層防護件應對粉塵與金屬蒸氣。

· 手套箱與金剛石 MOCVD：惰性氣氛箱體與沉積腔的壓力控制，保證腔體環(huán)境穩(wěn)定。

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