Thyracont真空計套裝 P_VD800_1 Set | VD800緊湊型真空計+VSC43USB變送器套裝

真空鍍膜、半導體工藝及實驗室真空系統(tǒng)中，多測點壓力監(jiān)測依賴固定式變送器，現(xiàn)場巡檢與故障排查時缺乏便攜、高精度的真空測量手段，如何在粗真空至中真空范圍內(nèi)實現(xiàn)即插即測、數(shù)據(jù)記錄與泄漏率定量分析？Thyracont真空計套裝 P_VD800_1 Set 包含VD800便攜式緊湊型真空計、VSC43USB壓阻式陶瓷變送器、充電電源、硅膠保護套、便攜箱及VacuGraph™軟件許可，絕對壓力測量范圍2000 mbar至1 mbar，相對壓力-1060 mbar至+1200 mbar，記錄速率可調(diào)20 ms至60 s，支持USB-C有線及藍牙LE無線數(shù)據(jù)傳輸。赫爾納供應代理德國Thyracont真空計套裝 ，德國總部直接采購，近30年進口工業(yè)品經(jīng)驗，原裝產(chǎn)品，支持選型，提供一對一解決方案。

制造商背景：Thyracont Vacuum Instruments GmbH

Thyracont Vacuum Instruments GmbH于1970年在德國巴伐利亞州帕紹（Passau）創(chuàng)立，專注真空測量技術研發(fā)與制造。企業(yè)為真空泵及真空工藝設備OEM廠商供應創(chuàng)新測量設備，產(chǎn)品涵蓋真空傳感器、真空變送器、真空計、真空開關、控制器及真空組件。2025年，Thyracont通過ISO 9001:2015質(zhì)量管理體系認證，使超過50年的高質(zhì)量標準獲得國際可量化的合規(guī)背書。全部產(chǎn)品堅持德國本土研發(fā)與制造，總部設于Passau，擁有獨立研發(fā)中心及完整生產(chǎn)線。產(chǎn)品應用于半導體制造、制藥生產(chǎn)、涂層技術、分析與研發(fā)、太陽能及流程工業(yè)等領域。Thyracont產(chǎn)品被維也納科學技術博物館量子實驗室展陳，作為真空測量技術代表性展品。

產(chǎn)品類型

Thyracont真空測量技術產(chǎn)品涵蓋以下類別：

數(shù)字緊湊型真空計（VD8 / VD800系列）：便攜式電池供電真空計，集成數(shù)據(jù)記錄器，USB接口傳輸，適用于現(xiàn)場服務與維護

數(shù)字真空變送器（Smartline系列）：VSR壓阻/皮拉尼組合傳感器、VSP皮拉尼傳感器，輸出RS485/0-10 V/EtherCAT/PROFINET，支持可更換傳感器頭

USB-C真空變送器（VSC系列）：壓阻式陶瓷傳感器，USB-C即插即用，2000至1 mbar絕對壓力，-1060至+1200 mbar相對壓力

模擬真空變送器（Analogline系列）：0-10 V標準模擬輸出，可直接替換現(xiàn)有模擬真空計

電子真空開關（VRC / VRP系列）：壓阻式陶瓷傳感器，帶繼電器切換點，用于泵或閥門直接控制

超高真空傳感器（VSH系列）：皮拉尼/熱陰極Bayard-Alpert組合傳感器，測量范圍1000至5×10?1? mbar

真空顯示控制器（VD6 / VD12 / PVC系列）：單通道/雙通道/離子計控制器，支持多傳感器接入與過程控制

真空計套裝（Set系列）：P_VD800_1、P_VD801、P_VD810、P_VD850等預配置套裝，含主機、傳感器、配件及軟件

代理德國Thyracont真空計套裝 主要型號

以下型號基于Thyracont產(chǎn)品目錄及技術數(shù)據(jù)表確認：

P_VD800_1 Set — VD800 + VSC43USB + WUSB_CC002 + VD800N5 + VD800SH + VD800CASE + VGR軟件許可

P_VD801 Set — VD800 + VSC43USB + 全套配件，測量范圍2000至5×10?? mbar（組合傳感器）

P_VD810 Set — VD810 + 配件，內(nèi)置壓阻陶瓷傳感器，絕對壓力2000至1 mbar，相對壓力-1060至+1200 mbar

P_VD850 Set — VD850 + 配件，內(nèi)置壓阻/皮拉尼組合傳感器，1200至5×10?? mbar

VD81 — 壓阻式緊湊型真空計，1600至1 mbar，Mini-USB接口

VD83 — 皮拉尼式緊湊型真空計，100至5×10?? mbar

VD84 — 外接皮拉尼傳感器緊湊型真空計，100至1×10?3 mbar，螺旋電纜連接

VD85 — 壓阻/皮拉尼組合緊湊型真空計，1200至5×10?? mbar

VSR53D — Smartline數(shù)字真空變送器，壓阻/皮拉尼組合，DN16 ISO-KF，RS485+0-10 V

VSP63D — Smartline皮拉尼真空變送器，1000至1×10?? mbar，DN16 ISO-KF

產(chǎn)品概述

Thyracont真空計套裝 P_VD800_1 Set 為預配置便攜式真空測量解決方案，核心組件VD800緊湊型真空計通過USB-C接口連接外部VSC43USB有源變送器，實現(xiàn)絕對壓力與相對壓力的精確測量。套裝內(nèi)含充電電源、硅膠保護套、硬質(zhì)便攜箱及VacuGraph™軟件單用戶許可，開箱即可投入現(xiàn)場服務與維護作業(yè)。

核心技術參數(shù)：

表格

工作原理與結構特點：

VSC43USB變送器采用壓阻式陶瓷測量元件，Al?O?陶瓷膜片在壓力作用下產(chǎn)生形變，內(nèi)置壓阻電橋將機械形變轉換為與壓力成比例的電信號。陶瓷材質(zhì)耐化學腐蝕，F(xiàn)KM密封適用于真空及弱腐蝕性氣體環(huán)境。變送器通過USB-C數(shù)字接口將校準后的壓力值傳輸至VD800主機，消除傳統(tǒng)模擬傳輸中的線纜壓降與噪聲干擾。VD800主機配備圖形LCD，可直接繪制壓力-時間曲線，內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄器以可調(diào)速率（20 ms–60 s）存儲測量值并附帶實時時鐘時間戳。VacuGraph™軟件支持數(shù)據(jù)讀取、曲線可視化、泄漏率計算（升壓速率法）及測量報告導出，滿足審計與質(zhì)量保證文檔化需求。

優(yōu)勢特點

壓阻陶瓷傳感器，20 ms響應時間捕捉快速過程：VSC43USB采用Al?O?陶瓷壓阻元件，響應時間20 ms，在真空鍍膜腔體抽氣過程中可實時記錄壓力下降曲線，識別泵組切換點及異常泄漏拐點。較傳統(tǒng)皮拉尼傳感器（響應時間約100–200 ms）對壓力突變的捕捉能力提升約5–10倍

與氣體類型無關，粗真空段讀數(shù)不受工藝氣體影響：壓阻式測量原理基于機械形變，在2000 mbar至1 mbar范圍內(nèi)測量值與氣體種類無關。在半導體刻蝕工藝中，腔體從大氣壓抽至粗真空階段涉及N?、Ar、CF?等多種氣體切換，VD800讀數(shù)無需氣體修正系數(shù)，避免皮拉尼傳感器因氣體熱導率差異導致的±30%測量偏差

集成泄漏率計算，升壓速率法精度±5%：VacuGraph™軟件內(nèi)置泄漏率計算工具，通過記錄關閉真空泵后腔體壓力上升速率，自動計算泄漏率（mbar·l/s）。在真空爐年檢及鍍膜機維護中，該功能替代傳統(tǒng)氦質(zhì)譜檢漏儀的粗檢步驟，單次檢測時間由約30分鐘縮短至5分鐘，檢測成本降低約80%

模塊化傳感器頭，現(xiàn)場更換維護時間<2分鐘：VD800采用模塊化設計，臟污或磨損的USB變送器可由授權人員直接在現(xiàn)場更換，無需返廠校準。在半導體Fab多腔體設備維護中，單個變送器更換時間<2分鐘，較傳統(tǒng)固定式真空計拆卸-校準-重裝流程（約2小時）停機時間縮短約98%

圖形曲線直顯+數(shù)據(jù)記錄器，2000組數(shù)據(jù)離線存儲：VD800圖形LCD實時顯示壓力曲線，數(shù)據(jù)記錄器可存儲多組測量序列（每組最多2000點）。在真空泵性能驗收測試中，可完整記錄從大氣壓限真空的抽氣曲線，離線后通過USB-C或藍牙LE傳輸至PC進行泵組效率對比分析

主要應用

半導體設備現(xiàn)場服務與腔體維護：在刻蝕機、CVD沉積設備及離子注入機維護中，P_VD800_1 Set用于多點壓力驗證、腔體密封性檢測及真空泵性能評估。壓阻陶瓷傳感器耐受氟化工藝氣體，20 ms響應時間捕捉泵組切換瞬態(tài)壓力，VacuGraph™軟件生成標準化維護報告

真空鍍膜機工藝調(diào)試與故障診斷：在光學鍍膜、硬質(zhì)涂層及卷繞鍍膜設備中，VD800套裝用于監(jiān)測抽氣過程、驗證極限真空及定位泄漏點。圖形曲線顯示功能直觀呈現(xiàn)鍍膜前腔體壓力達標情況，泄漏率計算功能量化密封衰減趨勢，指導O型圈更換周期

制藥凍干機及滅菌設備驗證：在藥品凍干工藝中，VD800用于監(jiān)測預凍階段腔體壓力、判斷冰升華終點及驗證冷阱效率。壓阻式測量不受水蒸氣影響（皮拉尼傳感器在水蒸氣環(huán)境中讀數(shù)漂移約±50%），數(shù)據(jù)記錄器生成符合GMP要求的批次驗證文檔

實驗室真空系統(tǒng)搭建與教學：在高校及科研院所真空物理、表面科學實驗中，P_VD800_1 Set作為便攜式標準真空計，用于校準固定式真空傳感器、驗證系統(tǒng)本底真空及監(jiān)測反應過程壓力。USB-C即插即用設計降低實驗 setup 復雜度，藍牙LE無線傳輸避免實驗臺線纜纏繞

真空泵出廠測試與售后性能評估：在旋片泵、羅茨泵及干式螺桿泵出廠測試中，VD800套裝連接泵入口記錄抽氣曲線，通過VacuGraph™軟件對比設計抽速曲線，判定泵組是否達到標稱極限真空及抽速指標。便攜箱設計支持售后工程師攜帶至客戶現(xiàn)場進行泵組性能復測

赫爾友道，融中納德 —— 我們無假貨，我們價格實惠，我們品質(zhì)！